Díríonn ASML ar luasghéarú 40% le maisc níos faide

Tá gnáthfhótamhasc an lae inniu ró-ghearr le go bhféadfadh scanóir ard-NA gnáthréimse iomlán slise a nochtadh in aon phas amháin. Tá fótamhasc níos faide á mholadh ag ASML agus TSMC chun an réimse sin a athbhunú, ach leagtar amach treochlár forbartha ina bhfógra comhpháirteach seachas tuairisc a thabhairt ar chóras táirgthe atá ag feidhmiú.

Mionsonraí níos fearr, ach canbhás níos lú

Is é an fótamhasc an máistirtheimpléad do gach sraith de shlis. Teilgeann scanóir liteagrafaíochta a phatrún ar bhratú solas-íogair ar sliseog sileacain, rud a chuireann ar chumas céimeanna monaraíochta ina dhiaidh sin an íomhá a iompú ina ciorcadra.

Cuireann ard-NA le cumas an scanóra gnéithe fíorbheaga a idirdhealú. Seasann “NA” do chró uimhriúil, tomhas ar raon na n-uillinneacha solais is féidir leis an gcóras optúil glacadh leo. Samhlaigh lionsa oibiachtúil micreascóip ag bailiú solais ó níos mó treonna: cabhraíonn na huillinneacha breise sin leis mionsonraí a scaradh a d’éireodh doiléir dá n-uireasa. Tá patrúnú níos míne léirithe ag Imec le hard-NA.

Cruthaíonn an feabhas sin comhréiteach geoiméadrach. Laghdaíonn gnáthchórais optúla EUV patrún an fhótamhaisc go cothrom ó thaobh go taobh agus ó bharr go bun. Laghdaíonn leagan amach scáthán ard-NA é níos mó feadh threo gluaiseachta an scanóra. Dá bhrí sin, leis an bhfótamhasc reatha, ní chlúdaíonn an íomhá ach leath an ghnáthréimse feadh na haise sin.

Ní mór sraith slise a shíneann thar an réimse níos giorra sin a roinnt idir nochtaí comharsanacha. Ansin ailíníonn an scanóir na híomhánna ag uaim inmheánach, próiseas ar a dtugtar “fuáil laistigh den dísle” agus atá taighdeoirí a thástáil go turgnamhach.

Cuireann an fótamhasc dronuilleogach atá beartaithe spás patrúin leis sa treo atá comhbhrúite. Tar éis don chóras optúil an íomhá níos faide sin a laghdú, is féidir léi an gnáthréimse a líonadh arís. I gcás sraithe incháilithe, d’fhéadfadh sé nochtadh amháin a chur in ionad dhá nochtadh fuaite. Ní mhéadódh sé an tslis ná líon na sliseanna ar gach sliseog as féin.

Cá bhféadfadh an gnóthachan luais teacht as?

Tá gnóthachan tréchuir thart ar 40% tuartha ag ASML nuair a chuirtear an fótamhasc níos mó in ionad próisis fuaite. Tá an réasúnaíocht simplí: má chuirtear deireadh leis an athnochtadh, is féidir leis an scanóir tosú ar an gcéad sliseog eile níos luaithe.

Is réamhaisnéis de chuid ASML é an figiúr sin fós, ní toradh táirgthe arna thomhas go neamhspleách. Baineann sé le sraitheanna a mbeadh fuáil de dhíth orthu murach sin; is beag tairbhe a bhainfeadh dearaí atá oiriúnach don réimse níos giorra cheana féin as athrú an fhótamhaisc. Ní hionann nochtadh níos tapúla agus feabhas uathoibríoch ar an toradh monaraíochta ach oiread, is é sin sciar na sliseanna a fheidhmíonn.

Tá teicneolaíocht an scanóra níos faide chun cinn ná an fótamhasc nua. Tá patrúin thurgnamhacha tugtha ag Imec trí dheascadh miotail agus seiceálacha leictreacha, rud a léiríonn gur tháinig struchtúir roghnaithe slán ón monarú tar éis phriontáil na híomhá tosaigh. Déantar tástáil leis an bpriontáil ar chumas an scanóra patrún a réiteach; déantar tástáil leis an obair níos déanaí ar cé acu is féidir an patrún sin a iompú ina struchtúr leictreach feidhmiúil. Ní thuairiscítear aon léiriú inchomparáide ó cheann ceann an phróisis san fhógra faoin bhfótamhasc mór.

Athraíonn an pláta níos faide tionscal iomlán

D’fhéadfadh cuma píosa gloine níos mó a bheith ar an bhfótamhasc, ach tá gá le hathrú ar fud an éiceachórais chun é a úsáid. Teastaíonn uirlisí comhoiriúnacha ó sholáthraithe chun é a dhéanamh, a iniúchadh, a chosaint, a iompar agus a luchtú. Ní mór do ASML, do mhonaróirí sliseanna agus do sholáthraithe trealaimh teacht ar chomhaontú faoi fhormáid chomhroinnte agus a chruthú go gcaomhnaítear an ghlaineacht agus an chruinneas a éilíonn EUV ag gach aistriú.

Tá sé mar aidhm ag an treochlár go mbeidh líne phíolótach réidh faoi 2031, rud a réiteodh an bealach do chórais dul isteach sa táirgeadh ó 2033. Spriocanna forbartha atá iontu sin, ní fianaise go bhfuil an líne phíolótach tógtha ná go bhfuil an slabhra táirgthe cáilithe.

Níl sé beartaithe ag monaróirí sliseanna fanacht leis an bhformáid nua. Tá plean ard-NA do chuimhne ardfhorbartha in 2028 leagtha amach ag Samsung, agus cuireann treochlár TSMC tús le monaraíocht ard-NA ó 2030. Is iad na fótamhaisc reatha agus an fhuáil a iompróidh an t-aistriú luath.

Tá an fhormáid níos faide ceaptha chun réimse iomlán ard-NA a athbhunú agus uaim amháin a bhaint i gcás sraitheanna incháilithe. Chun fíorghnóthachan táirgiúlachta a bhaint as sin, caithfidh ASML, monaróirí sliseanna agus soláthraithe trealaimh an fhormáid fhisiciúil chéanna a cháiliú anois ar fud slabhra iomlán monarchan.